用途

  • 半導体・液晶・フィルム装置
  • 宇宙探査機・人工衛星 模擬実験
  • ロボット開発
  • 精密計測器
  • 摩擦試験装置
  • 光学装置

特長

  • 非接触・無摩擦
  • 省エア流量
  • クリーン
  • 高剛性
  • 高精度

フラットエアベアリング

平面用エアベアリング

フラットエアベアリング

用途:精密ステージ、非接触浮上実験等
特長:丸形、四角形の形状をご準備。様々な用途に応用可能

エアブッシュ

非接触で直動及び回転シャフトを支持

用途:高速・微小ストローク、ゼロ摺動抵抗等
特長:精密ステージから回転シャフトの支持まで幅広く活用可能

エアブッシュ

プリロードエアベアリング(VPL)

エアベアリング+バキュームで自己与圧

VPL プリロードエアベアリング

用途:超精密位置決め、その他ワークの非接触ハンドリング等
特長:平面に吸い付きながら浮上。エア圧とバキューム圧の調整で浮上量、浮上剛性を自在に調整可能

ラジアルエアベアリング

小径φ24 mmから最大φ3000 mmまで幅広い回転体を支持

用途:高速・高精度回転体、ロータリーテーブル、回転シャフト等
特長:大径の回転体用途にも対応可能

ラジアルエアベアリング

エアウェイ

リニア静圧ガイド

エアウェイ

用途:各種リニアアプリケーション
特長:非接触/クリーン/高速/高精度

コンベアエアベアリング

静圧エアベアリングによるFPDガラス、高機能フィルム、金属薄板の非接触搬送

用途:半導体・液晶装置、各種フィルム,金属薄板
特長:高速搬送から高精度ワークチャックまで幅広い用途に対応

コンベアエアベアリング

エアスピンドル

回転エアベアリングユニット

エアスピンドル

用途:非接触回転テーブル、回転体
特長:非接触/クリーン/高速/高精度

スフェリカル

球面(凹)エアベアリング

用途:球体及び球面を支持
特長:非接触で球体や球面を自在に支持可能

エアターン

ロール状エアベアリング

用途:Roll to Rollフィルム搬送用途等
特長:高機能フィルム等を非接触浮上搬送可能
   寸法はご相談ください。

エアターン

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関するお問い合わせ

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福田交易株式会社 本社営業部

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