フラットエアベアリング

平面用エアベアリング

用途：精密ステージ、非接触浮上実験等
特長：丸形、四角形の形状をご準備。様々な用途に応用可能

エアブッシュ

非接触で直動及び回転シャフトを支持

用途：高速・微小ストローク、ゼロ摺動抵抗等
特長：精密ステージから回転シャフトの支持まで幅広く活用可能

エアウェイ

リニア静圧ガイド

用途：各種リニアアプリケーション
特長：非接触／クリーン／高速／高精度

コンベアエアベアリング

静圧エアベアリングによるFPDガラス、高機能フィルム、金属薄板の非接触搬送

用途：半導体・液晶装置、各種フィルム，金属薄板
特長：高速搬送から高精度ワークチャックまで幅広い用途に対応

エアターン

非接触で搬送する革新的なRoll to Roll技術

エアターンは、従来の接触ローラーに代わる新しい搬送ソリューションです。独自の Porous Media Technology™（多孔質媒体技術） により、薄く柔軟なシート状材料を非接触で搬送することが可能です。
Roll to Roll工程を採用する産業において、エアターンは画期的な選択肢となります。

非接触搬送を実現するエアクッション構造

従来の柔軟基材搬送では、ターンバー間で直接テンションをかける「接触搬送」が一般的でした。 一方、New Wayのカーボン製エアサーフェスは、数百万個の微細孔から空気を均一に噴出し、高剛性のエアクッション（空気膜） を形成します。これにより、最大180°の方向転換 を材料が一切の接触なく行うことができます。

また、エアターンは Radial Air Bearings と組み合わせることで、搬送材の走行高さやテンションを可変制御したり、方向転換・反転を行うことも可能です。さらに、Air Bars や Spherical Air Bearings と組み合わせることで、より複雑で高精度な非接触搬送システムを構築できます。

エアフィルムによる欠陥低減

接触ローラー方式では、ローラー表面の微細な傷や汚れが製品に転写され、欠陥や不良を生じることがあります。
エアターンでは以下の3つの効果により、こうした問題を根本的に解決します。

• 完全非接触搬送 により、摩擦や接触痕を排除
• エアクッションが材料を汚染物質から保護
• 空気膜の粘性せん断効果により、表面をクリーニングまたは乾燥

特に電子部品やフィルムなど、クリーンなRoll to Roll加工を必要とする分野で大きなメリットを発揮します。

可変テンションによる平坦性制御

エアターンは単なる非接触搬送装置ではありません。エア圧を調整することで、搬送中にリアルタイムで飛行高さやテンションを制御し、材料の平坦性を最適化できます。

非接触計測にも対応

エアターンによるエアギャップ搬送は、ナノスケール干渉計測（interferometry） によるリアルタイムな平坦度・安定性測定を可能にします。独立機関 IBS Precision Engineering によるテストでは、ポリエチレンテレフタレート（PET）基材を5m/minで搬送した際、
・通常のテーブル：最大変動 100µm
・エアテーブル使用時：最大変動 6µm
という結果が得られました。

エアターンは、各種サイズ・直径で提供されており、カスタム設計にも対応 しています。
ぜひお問い合わせいただき、貴社の搬送システムに最適なソリューションをご検討ください。