用途

  • 半導体・液晶装置
  • 精密計測装置
  • 光学装置
  • その他各種高精度装置

特長

  • 非接触
  • クリーン
  • 高速
  • 高剛性
  • 高精度

エアブッシュ

非接触で直動高速シャフト支持

用途:高速・微小ストローク、ゼロ摺動抵抗などの各種アプリケーション。
特長:回転シャフトも支持できます。

エアブッシュ

VPL プリロードエアベアリング

エアベアリング+バキュームで自己与圧

VPL プリロードエアベアリング

用途:フォーカシング、超精密位置決め、その他ワークの非接触ハンドリングなど。
特長:エア圧とバキューム圧の調整で浮上量、浮上剛性を自在に調整できます。

ラジアルエアベアリング

小径φ24 mmから最大φ3000 mmの大径ロータリテーブルまで幅広い回転体を支持します

用途:ロータリーテーブル、回転シャフト、その他高速・高精度回転アプリケーション。
特長:回転体の外周を支持しますので大径中空アプリにも対応できます。

ラジアルエアベアリング

エアウェイ

リニア静圧ガイド

エアウェイ

用途:各種リニアアプリケーション。
特長:非接触/クリーン/高速/高精度

コンベアエアベアリング

静圧エアベアリングによるFPDガラス、高機能フィルム、金属薄板の非接触ハンドリング

用途:半導体・液晶装置、各種フィルム,金属薄板(RtoR, カットシート)アプリケーション。
特長:高速搬送から高精度ワークチャックまで幅広い用途に対応します。

コンベアエアベアリング

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